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Evaporador Minivap

Evaporador Minivap para depósito de lámina delgada en vacío, fácil de operar e integrable en cajas de guantes

El Evaporador Minivap de deposición de MBRAUN consta de un sistema de bomba turbomolecular seca con hasta 70 l/s (Pfeiffer, HiPace80) y una operación con un solo botón. El Evaporador MINIvap genera una presión base inferior a 5e-6 mbar. La cámara está compuesta de acero inoxidable con un diámetro de 150 mm, opcionalmente se puede montar un revestimiento intercambiable.

Puede integrarse en las cajas de guantes MBRAUN existentes, pero también puede utilizarse como un sistema independiente.

Es posible trabajar con tamaños de sustrato de hasta 50×50 mm. El proceso de carga es manual.

El Evaporador Mibivap puede equiparse adicionalmente con una gama de soportes para máscaras y sustratos, así como con un obturador. Además, se puede añadir un control de temperatura de calentamiento/enfriamiento.

  • Diseño compacto
  • Puede integrarse en las guanteras MBRAUN existentes
  • Solución económica
  • Instalación rápida y sencilla
  • Aplicaciones:
    • Metalización, capas de contacto.
    • Compuestos orgánicos e inorgánicos (por ejemplo, OFET, Bio-Tech)
    • Microscopía
    • Semiconductores

Especificaciones técnicas del Evaporador Minivap:

  • Fuentes de deposición:
    • Hasta 2x fuente térmica (bote de metal o bote de cerámica con crisol), incl. controlador
    • Hasta 3 fuentes LTE (50-800°C) y HTE (300-1400°C) incl. controlador
    • Monitor de frecuencia QCM (opcional: segundo QCM con doble canal), posible codeposición
    • Uniformidad de capa < +/-5 %
    • Limitado a un sustrato de 50×50 mm de diámetro
  • Instalación:
    • Instalación independiente (stand alone)
    • Integrada dentro de una caja de guantes
  • Especificaciones técnicas Evaporador Minivap:

    • Presión base < 5e-6mbar
    • Diámetro de la cámara 150 mm
    • Tamaño del sustrato hasta 50x50mm
    • Obturador de sustrato (manual o neumático)
    • Enmascaramiento
    • Manejo manual
  • Obturador de fuente para LTE y HTE
  • Integración en cajas de guantes Mbraun

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